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《大规模集成电路制造工业》课程简介

 
 

本课程授课目的是使学生掌握微电子制造的各单项工艺技术,以及亚微米CMOS集成电路的工艺集成技术。本课程讲授微电子制造工艺各单项工艺的基本原理,包括氧化、扩散、离子注入、薄膜淀积、光刻、刻蚀、金属化工艺等,并介绍常用的工艺检测方法、集成电路工艺集成技术和工艺技术的发展趋势等问题。

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